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XeCl(キセノン・塩素)、ArF(アルゴン・弗素 (ふっそ) )といった励起状態にある二原子分子(エキシマ)を利用するレーザー。紫外線・可視光短波長域のパルスを出力する。
出典:デジタル大辞泉(小学館)
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